在芯片失效分析领域，当通过外观检查和电性能测试锁定 “失效存在”，却难以精准定位失效点时，微光显微镜（EMMI） 与光束诱导电阻变化测试（OBIRCH） 成为破解难题的关键技术。二者均属于芯片失效定位