失效分析

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    在芯片失效分析领域,当通过外观检查和电性能测试锁定 “失效存在”,却难以精准定位失效点时,微光显微镜(EMMI) 与光束诱导电阻变化测试(OBIRCH) 成为破解难题的关键技术。二者均属于芯片失效定位

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