攻克腐蚀氧化清洗工艺痛点！ ——华林科纳 ∙ 真空腐蚀清洗一体设备

在半导体、微电子、光伏、光电子、精密金属、医疗植入物等领域，腐蚀不均匀、清洗不干净，产品表面残留氧化物杂质，怎么办？ 华林科纳 ∙ 真空腐蚀清洗一体设备，以精准参数、模块化设计、智能控制， 打造全程无

CSE—CDS 中央化学品供液系统，以智能守护先进制程

面向泛半导体高端制造对化学品输送的极致需求，华林科纳全新升级 CSE— CDS 中央化学品自动供液系统。系统融合高纯度材料、智能闭环控制、可视化运 维与多重安全冗余设计，实现稳定供液、精准计量、全程追